高分辨率：采用高分辨率成像系統，提升顆粒探測靈敏度至微米量級
高檢出率：配置多種照明模式，提高不同缺陷檢測工藝適應性
高產率：配備3個獨立SMIF版庫、提高設備產率
顆粒清潔：配置氣浴模塊，可清潔玻璃表面顆粒
工廠自動化：支持SECS/GEM SEMI標準，全面滿足工廠自動化需求
微信公眾號
合肥地址：安徽省合肥市高新區華佗巷469號1號樓
上海地址：中國(上海)自由貿易試驗區榕橋路661號7幢
合肥電話：0551-65116087
上海電話：021-50935077
Email: yuweitek@yuweitk.com