2025年7月，正值御微半導(dǎo)體Halo-100產(chǎn)品上市一周年之際，公司已累計發(fā)運(yùn)多家掩模制造廠（MaskShop）、并于今日正式向掩模基板廠（Blank Fab）發(fā)運(yùn)專用版本。該版本的發(fā)運(yùn)，標(biāo)志著Halo-100成功從掩模制造領(lǐng)域延伸至上游基板生產(chǎn)環(huán)節(jié)，推動御微“掩模全生命周期質(zhì)量控制”戰(zhàn)略實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵跨越。憑借御微公司自主研發(fā)的核心技術(shù)，   Halo-100現(xiàn)已成為掩模產(chǎn)業(yè)鏈中制造端與基板端質(zhì)量管控的標(biāo)尺。

御微半導(dǎo)體Halo-100掩模基板缺陷檢測產(chǎn)品

領(lǐng)航掩模檢測新高度，Halo-100匠心鑄就

Halo-100設(shè)備基于御微半導(dǎo)體多年深耕掩模檢測領(lǐng)域的技術(shù)積淀，通過高精度缺陷檢測與高精密光學(xué)系統(tǒng)，為掩模檢測行業(yè)提供多重價值：

- 掩模制造端：在曝光前對掩模基板進(jìn)行入場檢測，攔截大顆粒污染物，避免曝光機(jī)腔體污染及后續(xù)工序良率損失；同時作為設(shè)備內(nèi)部潔凈度監(jiān)測的“標(biāo)尺”，定期檢測重點(diǎn)生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部腔體的潔凈狀態(tài)。

- 基板生產(chǎn)端：覆蓋玻璃基板來料檢驗(yàn)、多層鍍膜過程監(jiān)控及成品出貨檢測全鏈條，確保每個制程節(jié)點(diǎn)的潔凈度達(dá)標(biāo)。

- 零污染生產(chǎn)：集成自動開盒/倒板模塊，最大限度減少人工干預(yù)，實(shí)現(xiàn)全程封閉式管控。

御微聚力全賦能，共筑產(chǎn)鏈新價值

Halo-100的推出，與御微半導(dǎo)體已有的i6R、Raptor等產(chǎn)品形成協(xié)同效應(yīng)，構(gòu)建覆蓋掩模制造、使用、維護(hù)全生命周期的零缺陷質(zhì)量管控閉環(huán)。該體系不僅幫助客戶降低潛在污染的損失，更推動半導(dǎo)體制造鏈條的精細(xì)化升級。

御微將持續(xù)加大研發(fā)投入、深入剖析客戶痛點(diǎn)和需求、不斷開發(fā)出滿足客戶要求的新產(chǎn)品，夯實(shí)掩模版全生命周期質(zhì)量管控產(chǎn)品線，填補(bǔ)國內(nèi)相關(guān)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的空白，為廣大客戶創(chuàng)造更高更大的價值。

御微使命，奮發(fā)前行

上海御微半導(dǎo)體技術(shù)有限公司聚焦半導(dǎo)體檢測與量測設(shè)備研發(fā)，致力于為晶圓制造、掩模版制造及封裝領(lǐng)域提供全制程領(lǐng)域量檢測解決方案。公司已獲多項(xiàng)國家級專精特新企業(yè)認(rèn)證，產(chǎn)品覆蓋國內(nèi)主流半導(dǎo)體廠商，設(shè)備累計出貨量超百臺。