近日，御微半導體首臺i6R-210掩模全景質量管理產品成功發運，并順利交付國內先進掩模版生產廠。本次發運的i6R-210是御微首次推出的一款集缺陷檢測、雙面清潔以及倒版功能于一身的掩模全景質量管理設備。

i6R-210產品作為御微i6R產品線的第三代產品，繼承了前兩代產品高產率、高精度明暗場檢測系統以及操作便捷等特點，通過多項先進技術的導入和功能優化，成功的將應用場景從之前的晶圓廠黃光區延伸至光罩室，并拓展至掩模版生產廠。同時，憑借御微獨創的360°照明技術，i6R-210產品已逐步開始建立掩模廠出貨檢和晶圓廠入庫檢的閉環管理統一標準體系。

御微半導體i6R-210掩模全景質量管理產品

在晶圓廠中，御微i6R-210產品可應用于黃光區，在曝光前后進行掩模質量控制。相對于傳統的掩模版表面顆粒檢測方式，i6R-210產品可以檢出的缺陷類型更加全面可靠，以幫助客戶避免因某些特殊缺陷污染物的漏檢，而導致大批量的晶圓報廢。同時，在光罩室中，i6R-210產品可應用于掩模版的入廠檢測及定期缺陷監控，便于客戶進行掩模版管理。

在掩模廠中，為滿足客戶對于目檢替代和出貨自動化的需求，i6R-210加入了自動倒版、掩模版雙面清潔等功能，盡可能避免了因人工干預而帶來的二次污染，減少客戶清洗掩模版的頻率，成功實現了圖形區以外所有區域全覆蓋的目標。

i6R-210產品是御微在掩模全生命周期質量控制產品線中重要的一環，將配合御微掩模檢測系列產品組成一站式掩模過程控制綜合解決方案。

未來，御微將持續加大研發投入、深入剖析客戶痛點和需求、不斷開發出滿足客戶需求的新產品，以優質的產品和全面的服務為客戶創造更多價值，助力國內集成電路產業健康發展。